利用碳化硅微粉切割硅晶片具有以下特點:
1.高純度、大結(jié)晶的綠碳化硅原材料,保證了綠碳化硅切割微粉的優(yōu)良切割性能和穩(wěn)定的物理狀態(tài);
2.粒度形狀為等積而具刀鋒,保證了綠太陽能碳化硅微粉作為切割刃料的均衡自銳性,從而保證被切割材料TTV的較小化;
3.粒度分布集中并且均勻;
4.有高的熱震穩(wěn)定性和荷重軟化溫度,這確保了在荷重切割時的小的線膨脹系數(shù),從而保證切割的穩(wěn)定性;并且能夠和切割機有很好的適配性;
5.表面經(jīng)過特殊處理,微粉具備大的比表面積和清潔的外表,與聚乙二醇等切削液有很好的實配性。
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